> Spin-Coater SpinBall

Rôle de l'appareil

   Le SpinBall est une plateforme de traitement de films minces par centrifugation comportant un bol de revêtement, un bol de développement et une plaque chauffante.

Spécifications techniques

• Fonctionnement entièrement automatique par recettes sauvegardées
• Déposition de photorésine manuelle ou automatique
• Développement de photorésine manuel ou automatique
• Substrats: de petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm
• Nettoyage automatique du dos et du bord (edgebead) des gaufres
• Vitesse des tournettes: 0 à 6000 rpm +/- 1 rpm
• Accélération: jusqu’à 50 krpm/s
• Plaque chauffante en proximité: jusqu’à 250ºC +/- 0.1ºC

Accessoires

• Adapteur pour photomasques

Exemples de procédés et de services disponibles

• Revêtement de résine photosensible et électrosensible
• Procédé de développement par agitation

Tarif Académique | Industriel :
25 $/h | 72 $/h