Rôle de l'appareil
Le Microscope à Balayage de Sonde est un appareil capable de détecter la topographie d’une surface en trois dimensions à l’échelle atomique.
Conçu pour faire les mesures sous ultravide, il est capable d’obtenir des images ayant une résolution atomique. Ce microscope a la particularité unique d’être couplé avec un microscope électronique à balayage qui permet d’observer et de corriger en temps réel la position de la pointe du STM/AFM sur l’échantillon.
Spécifications techniques
• Dimensions maximales de l’échantillon: 7x7 mm², hauteur: 2 mm;
• Dimensions idéales: 7mm×3 mm, 0.5 mm hauteur (requises pour le nettoyage-chauffage in-situ)
• Mesure effectuée dans une région centrale de 3×3 mm²
• Pression de mesure: <5×10-8 Pa.
• ~ 0.05nm rms niveau de bruit (en Z) avec la pompe turbo arrêtée.
• Dimensions maximales de balayage X et Y: 10 µm, Z: 2 µm
• Modes d’opération: vrai non-contact (feedback en fréquence), contact intermittent (feedback en amplitude), contact (feedback en déflection).
• Signaux additionnels disponibles pendant balayage: friction (toutes les modes), phase et amplitude (modes dynamiques). Le courrant peut aussi être mesuré dans toutes les modes d’opération.
Accessoires
• Microscope électronique à balayage (MEB) pour visualiser/corriger la position de mesure de la pointe du STM/AFM. Résolution du MEB: 20 nm.
• Système d’introduction de gaz pour expériences de déposition et de croissance de molécules sur un substrat quelconque.
Module de mesure électrostatique / électromécanique: amplificateur Lock-in (Signal Recovery 7265), source de courant DC (Keithley 2400).
Exemples de procédés et de services disponibles
• Étude de la croissance des nanostructures.
• ‘Contraste de matériau’ via la détection de la friction/adhésion (en mode contact) ou de la phase des vibrations du cantilever (en mode contact intermittent)..
• Cartographie de la résistance électrique.
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