> Spin-Coater Brewer CEE100

Rôle de l'appareil

   Le Brewer CEE100 est une plateforme de dépôt de films minces par centrifugation destiné particulirement aux résines épaisses et au dépôt sur photomasques.

Spécifications techniques

• Fonctionnement automatique par programmes sauvegardées (rampe, vitesse de rotation, accélération, décélération)
• Déposition de photorésine manuelle ou automatique
• Développement de photorésine manuel ou automatique
• Substrats: de petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm / Plaques carrées de 6 pouces
• Vitesse des tournettes: 0 à 6000 rpm
• Accélération: jusqu’à 50 krpm/s

Accessoires

• Adapteur pour photomasques, substrats 8in et 6in

Exemples de procédés et de services disponibles

• Revêtement de résine photosensible et électrosensible
• Dépôt de résines SU8, LOR

Tarif Académique | Industriel :
25 $/h | 72 $/h