[Liste des équipements]
Lithographie par faisceau d' électron:
- Lithographie par faisceau d'électron, Vistec VB6 UHR EWF
Lithographie UV:
- Lithographie laser, Heidelberg DWL-66 FS
- Aligneur de masques, EVG620

- Lithographie par faisceau d'électron, Vistec VB6 UHR EWF
- Lithographie laser, Heidelberg DWL-66 FS
- Aligneur de masques, EVG620