Rôle de l'appareil
Analyse structurale des couches minces épitaxiées.
L’échantillon peut-être déplacé suivants les axes Oméga, Phi, Psi, X, Y et Z grâce à la plateforme 4 cercles.
Spécifications techniques
• Source de rayons X CuKα1, λ = 1.54056 Å
• Monochromateur hybride 4 rebonds (Ge 220, 19 arcsec)
• Configuration de mesure horizontal
• Détecteur : proportionnel au gaz
• Triple axis avec monochromateur 2 rebonds (Ge 220, 12 arcsec)
• Plateforme 4 cercles :
- 2θ = -10º to150º
- Ω = -90º to+90º
- Φ = 0º to360º
- Ψ = -90º to+90º
- X et Y : 100 mm de déplacement
- Z : 11 mm de déplacement
Accessoires
• Logiciel "Epitaxy"
Exemples de procédés et de services disponibles
• Cartographie de l’espace réciproque (RSM).
• Pôle figure.
• Rocking Curve.
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