Le SpinBall est une plateforme de traitement de films minces par centrifugation comportant un bol de revêtement, un bol de développement et une plaque chauffante.
• Fonctionnement entièrement automatique par recettes sauvegardées
• Déposition de photorésine manuelle ou automatique
• Développement de photorésine manuel ou automatique
• Substrats: de petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm
• Nettoyage automatique du dos et du bord (edgebead) des gaufres
• Vitesse des tournettes: 0 à 6000 rpm +/- 1 rpm
• Accélération: jusqu’à 50 krpm/s
• Plaque chauffante en proximité: jusqu’à 250ºC +/- 0.1ºC
• Adapteur pour photomasques
• Revêtement de résine photosensible et électrosensible
• Procédé de développement par agitation
