Le Gasonic Aura 1000 est une chambre plasma de type « afterglow » où des ions d’oxygène réactifs sont utilisés pour la combustion de polymères et autres contaminants organiques.
• Outil de type “downstream” qui élimine les dommages à l’échantillon par bombardement ionique
• Substrats: de petites pièces jusqu’à des photomasques carrés de 125 mm
• Procédé à température ambiante ou chauffé par lampes au quartz jusqu’à 300ºC
• Jusqu’à 16 recettes programmables
• Robot cassette à cassette (100 mm)
• Enlèvement de photorésine
• Nettoyage de substrat contaminés par composants organiques
• Oxydation de couches minces
