[Liste des équipements]
Synthèse de couches minces et de nanomatériaux:
- Dépôt par ablation Laser, PLD conventionel
- Dépôt par ablation Laser automatisé, PVD3000
- Évaporateur e-beam Kurt J. Lesker AXXIS
- Pulvérisateur cathodique, Kurt J. Lesker CMS-18
- Spin-coater automatisé, Spinball Site Services
- Spin-coater, Brewer CEE100
- PECVD, Oxford Instruments
- Dépôt par couches atomiques (ALD), Veeco Savannah 100
Gravure nanométrique:
- Graveur ICP Chloré, Oxford Instruments PlasmaLab System100
- Graveur ICP Fluoré, Oxford Instruments PlasmaLab System100
- Graveur ICP Silicium, Oxford Instruments PlasmaLab System100
- Asher Gasonics Aura 1000
Implantation ionique et traitements de surfaces:
- Implanteur ionique, IMC 200
- Fournaise Tystar Tytan
- Rapid Thermal Annealing (RTA) AG610
- Polisseuse CP3000
- Polisseuse Ultra Tec MultiPol
- Bancs humides Reynolds Tech et Fineline
Autre :
- Scie Mécanique, DAD3350
