> Microscope Électronique à Balayage (MEB)

Rôle de l'appareil

Microscopie électronique à balayage par électrons secondaires.
Caractérisation par spectroscopie d’énergie dispersive (EDS)

Spécifications techniques

• Canon d’électrons :
- Thermoionique (filament de Tungstène)
- tension d’accélération : 200 V à 30 kV
• Courant de sonde : 1 pA à 2 uA
• Résolution : 3 nm à 30 kV
• Grossissement : 2.5X à 1,000,000X

Accessoires

• Détecteur de rayons X pour analyse EDS (tous les éléments à partir du Carbone), Quantax de Bruker
• Détecteur pour la diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD de EDAX)

• Appareil de déposition d'ue couche mince métallique pour les échantillons isolants

Exemples de procédés et de services disponibles

• Observations en microscopie électronique à balayage en électrons secondaires (SEI)
• Détermination et quantification des éléments par EDS

• Cartographie de l'orientation cristallographique de la surface des échantillons par EBSD