> Microscope Électronique à Balayage (MEB salle-blanche)

Rôle de l'appareil

   Le JSM7401F est un microscope électronique à balayage capable d’imager les surface avec une résolution de l’ordre du nanomètre. Son détecteur de rayon-X permet également l’analyse élémentaire des surfaces.

Spécifications techniques

• Accélération: 0.1 keV à 30 keV
• Détecteur bas et in-lens
• Porte échantillon: 1 mm à 150 mm
• Excursion du porte échantillon: 110 mm x 80 mm
• Polarisation de l’échantillon pour ultra-haute résolution à 0.1 keV
• Filtre d’énergie des électrons secondaires et rétrodiffusés permettant la composition d’image mettant en relief la morphologie des surfaces.

Accessoires

• Porte-substrat motorisé sur 5 axes
• Pompage sans huile
• Trappe cryogénique
• Pompage rapide (airlock)
• Sputter de table (Pelletier cooled Emitech K575X) pour recouvrir les échantillons diélectriques de Pt, Pt/Ru, Au.

Exemples de procédés et de services disponibles

• Imagerie de lithographie par faisceau d’électrons
• Caractérisation de surface par analyse de dispersion d’énergie (EDS)

Tarif Académique | Industriel :
70 $/h | 145 $/h