Le LMN est un laboratoire intégré de micro- et nanofabrication comprenant une salle blanche de 250 m2 et des équipements à la fine pointe de la technologie (représentant un investissement de plus de 33 M$) et composé de 3 unités de recherche et de développement complémentaires: - la lithographie (électrons et photons) [ brochure] - la synthèse de couches minces et de nanomatériaux, la gravure nanométrique, l’implantation ionique et le traitement de surfaces[ brochure] - la caractérisation de nanomatériaux et de nanodispositifs.
Par sa nature même, le LMN répond aux besoins - d'une recherche de pointe dans les domaines situés en amont de la réalisation des nanodispositifs, c'est-à-dire la synthèse, la gravure et la caractérisation de nouveaux matériaux, l'implantation ionique et les technologies lithographiques L'accès au LMN est aussi crucial pour les chercheurs impliqués dans le domaine général de la synthèse et/ou de la caractérisation de nanomatériaux pour des applications dans d’autres secteurs, à savoir en revêtements tribologiques, en énergie, en environnement, etc. Le LMN est sans nul doute l’unique infrastructure au Canada qui permette de répondre de manière élargie à tous les besoins en matière de fabrication de nanostructures. En particulier, le LMN a mis à la disposition de la communauté scientifique et technologique un système de lithographie par faisceau d’électrons unique dans le milieu universitaire canadien.
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