Manufacturier : Kurt J. Lesker
Rôle de l'appareilL’évaporateur AXXIS de K. J. Lesker est un outil de déposition de couches minces très versatile. Sa chambre horizontale maintien l’échantillon au centre de l’enceinte ce qui permet les dépôts à angle et en rotation. De plus, le porte échantillon peut être orienté vers le port du haut pour de la pulvérisation, vers le côté pour une source d’ions ou vers le bas pour une évaporation.
Spécifications techniques• Source 1: Canon d’électrons avec 4 creusets avec sélection automatique. Accessoires• Porte échantillon refroidi.
Exemples de procédés et de services disponibles• Dépôt mulitcouches métallique pour circuits micro-ondes avec pré-nettoyage à jet d’ions |
Tarif Académique | Industriel : |