> Asher Gasonics Aura 1000

Rôle de l'appareil

   Le Gasonic Aura 1000 est une chambre plasma de type « afterglow » où des ions d’oxygène réactifs sont utilisés pour la combustion de polymères et autres contaminants organiques.

Spécifications techniques

• Outil de type “downstream” qui élimine les dommages à l’échantillon par bombardement ionique
• Substrats: de petites pièces jusqu’à des photomasques carrés de 125 mm
• Procédé à température ambiante ou chauffé par lampes au quartz jusqu’à 300ºC
• Jusqu’à 16 recettes programmables

Accessoires

• Robot cassette à cassette (100 mm)

Exemples de procédés et de services disponibles

• Enlèvement de photorésine
• Nettoyage de substrat contaminés par composants organiques
• Oxydation de couches minces

Tarif Académique | Industriel :
42 $/h | 125 $/h