Les bancs humides sont utilisés pour tous les procédés impliquant des produits chimiques, que ce soit pour le nettoyage d’échantillons, le dévelopement de résines electrosensibles, la gravure chimique de matériaux ou les procédés de soulèvement utilisés dans la fabrication d’électrodes.
• 3 bancs différents : un Reynolds Tech (acier inoxydable) pour la manipulation de solvants, deux Fineline (plastique) pour les bases et acides
• Bains avec système de chauffage, ultrasons et système de remplissage/évacuation avec bain de neutralisation
• Contrôle des bains à l’aide d’un écran tactile pour le banc Reynolds Tech
• Pistolets d’eau DI et Azote sur chaque banc
• Bain refroidit (jusqu’à 0°C) pour le dévelopement à froid
• Sondes de température pour le contrôle des bains
• Armoires ventilées et compartimentées pour le stockage des produits chimiques (solvants, dévelopeurs à base de TMAH, Acides, Bases)
• Séchage automatisé de gauffres de 4 pouces (Spin Rinse Dryer)
• Montage pour électroplaquage (Nickel, Cuivre)
• Nettoyage d’échantillons (Piranha, procédés RCA1, RCA2)
• Gravure de l’oxyde natif sur gauffres de Silicium (BOE, HF)
• Soulèvement (Lift-Off) pour la définition d’électrodes obtenues par évaporation
