Analyse structurale des couches minces épitaxiées.
L’échantillon peut-être déplacé suivants les axes Oméga, Phi, Psi, X, Y et Z grâce à la plateforme 4 cercles.
• Source de rayons X CuKα1, λ = 1.54056 Å
• Monochromateur hybride 4 rebonds (Ge 220, 19 arcsec)
• Configuration de mesure horizontal
• Détecteur : proportionnel au gaz
• Triple axis avec monochromateur 2 rebonds (Ge 220, 12 arcsec)
• Plateforme 4 cercles :
– 2θ = -10º to150º
– Ω = -90º to+90º
– Φ = 0º to360º
– Ψ = -90º to+90º
– X et Y : 100 mm de déplacement
– Z : 11 mm de déplacement
• Logiciel « Epitaxy »
• Cartographie de l’espace réciproque (RSM).
• Pôle figure.
• Rocking Curve.