L’ellipsomètre M-2000 de Woollam permet d’analyser les couches minces sur différents substrat très rapidement.
• Longueur d’ondes: 370 nm à 1000 nm.
• Cartographie 3D
• Porte d’échantillon: petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm.
• Sondes améliorant la résolution jusqu’à 150 µm
• Vérification journalière d’épaisseur de photorésine
• Mesure d’uniformité de dépôt de couches minces
