L’ellipsomètre V-VASE de Woollam est un appareil capable d’analyser les couches minces sur différents matériaux opaques ou transparents avec une grande précision.
• Longueur d’ondes: de 240 nm à 2500 nm (résolution de 0.05 nm)
• Mesures en réflexion ou transmission
• Porte-échantillon micro-métrique balayant une surface de 45 mm x 45 mm sur échantillon jusqu’à 150 mm
• Analyse ellispométrique en température de 20ºC à 300ºC
• Auto-retardeur pour mesure de dépolarisation
• Sonde de focus pour taille de sonde de 100 µm
• Mesure d’épaisseur de films anisotropique
• Mesure de transmission de lentilles diélectrique
