Le RTA est utilisé partout où une énergie d’activation est nécessaire pour mettre en évidence un phénomène physique sans permettre les phénomènes lents comme les diffusions d’espèces. Ce four permet aussi de faire croître de très minces couches d’oxyde de façon contrôlée.
• Chambre de quartz
• Contrôle des procédés par recettes sur ordinateur
• Rampe de température: jusqu’à 150ºC/s
• Température Maximale: 1100ºC +/- 3ºC pour 30 sec.
• Uniformité: meilleure que 5% sur 150 mm
• Gaz disponible: O2, N2, Ar, H2
• Substrat: de petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm
• Lecture de température par thermocouple ou pyromètre
• Recuit de contacts ohmiques
• Procédé pour oxynitrure
• Silicidation
• Recuit de cristallisation
