> Station de microanalyse Nucléaire (RBS et ERD)

Rôle de l'appareil

   La station de  microanalyse nucléaire a comme élément de base un accélérateur de particules de 400 kV. Cette station comprend la détection des reculs élastiques (ERD) et la spectrométrie par rétrodiffusion Rutherford (RBS). Ces techniques permettent la profilométrie en profondeur des éléments dans les matériaux. Elles sont généralement quantitatives et peu destructrices.

Spécifications techniques

   La méthode ERD ExB est une variante des techniques ERD, avec un filtre électromagnétique croisé, pour la profilométrie des isotopes de l'hydrogène et de l'hélium. La méthodes RBS permet la profilométrie des éléments plus lourds que le carbone. Les caractéristiques des techniques sont résumées au tableau suivant.
 

Accessoires

   Cette station permet l’utilisation des techniques de la détection de rayons-x induits par protons (PIXE) et les réactions nucléaires (RN et (p,g)).  Cependant, étant donné la faible énergie de l’accélérateur (400 keV), l’utilisation de ces techniques est limitée.

Exemples de procédés et de services disponibles

   Caractérisation d'une couche de SiC_x déposée sur du Si par PECVD. La mesure montre que cette couche contient de l‘H et que sa composition n'est pas stoechiométrique. On y voit également l'interface entre la couche déposée et le substrat en silicium.