Synthèse, gravure et modification de surfaces (nanomatériaux)

[Liste des équipements]

Synthèse de couches minces et de nanomatériaux:

- Dépôt par ablation Laser, PLD conventionel

- Dépôt par ablation Laser automatisé, PVD3000

- Évaporateur e-beam Kurt J. Lesker AXXIS

- Pulvérisateur cathodique, Kurt J. Lesker CMS-18

- Spin-coater automatisé, Spinball Site Services

- Spin-coater, Brewer CEE100

- PECVD, Oxford Instruments

- Dépôt par couches atomiques (ALD), Veeco Savannah 100
 

Gravure nanométrique:

- Graveur ICP Chloré, Oxford Instruments PlasmaLab System100

- Graveur ICP Fluoré, Oxford Instruments PlasmaLab System100

- Graveur ICP Silicium, Oxford Instruments PlasmaLab System100

- Asher Gasonics Aura 1000

Implantation ionique et traitements de surfaces:

- Implanteur ionique, IMC 200

- Fournaise Tystar Tytan

- Rapid Thermal Annealing (RTA) AG610

- Polisseuse CP3000

- Polisseuse Ultra Tec MultiPol

- Bancs humides Reynolds Tech et Fineline

Autre :

- Scie Mécanique, DAD3350